[17p-K507-1~6] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[17p-K507-5] Study of imprinting behavior during Laser-assisted direct glass imprinting (LADGI)

〇(D)Takehiro Mitsuda^1,2, Keisuke Nagato¹, Masayuki Nakao¹ (1.Tokyo Univ., 2.AGC Inc.)

Keywords:

Glass,Nanoimprint,Laser-assisted

ガラス表面への微細構造のダイレクトインプリントは、ガラスの融点の高さや冷却時の熱割れリスクにより昇温・徐冷に時間がかかるという課題があった。我々は被加工部材と金型の界面へ直接熱作用可能なレーザアシストダイレクトインプリント法により解決を試みている。本報では当技術において圧力が転写挙動に及ぼす影響と、転写可能なスケールの評価について報告する。