[17p-K507-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

14:15 〜 14:30

[17p-K507-5] Laser-assisted direct glass imprinting(LADGI)における転写挙動に関する考察

〇(D)光田 健洋^1,2、長藤 圭介¹、中尾 政之¹ (1.東大院工、2.AGC株式会社)

キーワード：

ガラス、ナノインプリント、レーザアシスト

ガラス表面への微細構造のダイレクトインプリントは、ガラスの融点の高さや冷却時の熱割れリスクにより昇温・徐冷に時間がかかるという課題があった。我々は被加工部材と金型の界面へ直接熱作用可能なレーザアシストダイレクトインプリント法により解決を試みている。本報では当技術において圧力が転写挙動に及ぼす影響と、転写可能なスケールの評価について報告する。