Presentation Information
[1F07【産業賞】]国際規格を満たす真空計・ヘリウム校正リークの校正技術の確立
*Tomoaki Takei1, Munenori Suzuki2, Yuuna Matsuki1 (1. Measurement Section,Vacuum Equipment Department,Production Management Headquarters,ULVAC TECHNO,Ltd., 2. Vacuum & Cryogenics, Advanced Technology Development, Components Business Unit, ULVAC, Inc.)
私たちは、2010年6月に日本で初めて計量法トレーサビリティ制度（JCSS）の真空計校正事業者としての登録および国際MRA 認定を受けて校正事業を開始した。2018年６月には、標準リークの校正事業を開始した。JCSSは、計量法関係法規及び校正機関の能力に対する要求事項を規定した国際規格(ISO/IEC 17025)に適合した校正事業者登録制度である。また国際MRAは、複数の国や地域での認証や校正の結果を相互に認め合う枠組みであり、JCSSは国際MRAに加盟している。国際MRA認定を得たJCSS校正事業者は校正証明書に、MRA付きJCSS認定シンボルの入った校正証明書を発行することができる。その校正証明書は、MRA加盟国のどこでも受入れられる。
ゆえに、真空計・標準リークのユーザはJCSSの記章あるいは認定シンボルの入った校正証明書を用いることで、測定結果の信頼性を容易に確認することできる。
私たちがJCSSに登録されている校正範囲は、真空計が1×10-4～1.33×105 Paで、リーク計が1.0×10-10～1.0×10-6 Pa m3/s である。
真空計の校正は1×10-4～1 Paと1×104～1.33×105 Paが国家計量標準にトレーサブルな真空計との比較校正、1～1×104 Paの間は膨張法をもちいている。リーク計の校正は1.0×10-8～1.0×10-6 Pa m3/sが真空計、オリフィスおよび標準コンダクタンスエレメント(SCE)を用いた組み立て校正、1.0×10-10～9.9×10-9 Pa m3/sが四重極型質量分析計(QMS)とSCEを用いた組み立て比較校正法をもちいている。
2010年6月の認定から今日まで、校正依頼件数は増加し続けている。特に2021年度に校正件数が増加しており、その多くが自動車業界の依頼である。これは自動車産業に特化した品質マネジメントが、2018年9月にISO/IEC16849からIATF16949に移行し、この移行に伴いISO/IEC17025の認定を受けた事業者の校正証明書の要求が厳しくなったことが要因の一つだと予想される。それ以外には航空宇宙、原子力、医療、そして真空業界等の依頼が来ている。それらも堅調に推移している。
このように依頼元は多岐にわたり、多くの業種でJCSSが認知されつつある。
ゆえに、真空計・標準リークのユーザはJCSSの記章あるいは認定シンボルの入った校正証明書を用いることで、測定結果の信頼性を容易に確認することできる。
私たちがJCSSに登録されている校正範囲は、真空計が1×10-4～1.33×105 Paで、リーク計が1.0×10-10～1.0×10-6 Pa m3/s である。
真空計の校正は1×10-4～1 Paと1×104～1.33×105 Paが国家計量標準にトレーサブルな真空計との比較校正、1～1×104 Paの間は膨張法をもちいている。リーク計の校正は1.0×10-8～1.0×10-6 Pa m3/sが真空計、オリフィスおよび標準コンダクタンスエレメント(SCE)を用いた組み立て校正、1.0×10-10～9.9×10-9 Pa m3/sが四重極型質量分析計(QMS)とSCEを用いた組み立て比較校正法をもちいている。
2010年6月の認定から今日まで、校正依頼件数は増加し続けている。特に2021年度に校正件数が増加しており、その多くが自動車業界の依頼である。これは自動車産業に特化した品質マネジメントが、2018年9月にISO/IEC16849からIATF16949に移行し、この移行に伴いISO/IEC17025の認定を受けた事業者の校正証明書の要求が厳しくなったことが要因の一つだと予想される。それ以外には航空宇宙、原子力、医療、そして真空業界等の依頼が来ている。それらも堅調に推移している。
このように依頼元は多岐にわたり、多くの業種でJCSSが認知されつつある。