B: Laser equipments

[P01-22p-P-06] 高効率EUV光源のための中赤外固体レーザーの開発

*Sato Ryoma¹, Ayaka Ogiwara¹, Hiroki Morita¹, Kazuyuki Sakaue², Takeshi Higashiguchi¹ (1. Utsunomiya University, 2. The University of Tokyo)