[1N06-08] 影響評価

11:00 〜 11:15

[1N06] CADデータを用いたモンテカルロ計算による形状変化が実効増倍率に与える影響評価

*嶋倉 海倫¹、山本 章夫¹、遠藤 知弘¹ (1. 名大)

キーワード：

実効増倍率、形状変化、CAD、モンテカルロ法

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