講演情報

[[G]3201-2pm-03]新規材料の製品実装のためのスケーラブル粉体成膜プロセスインフォマティクス

○長藤 圭介1 (1. 東京大学)

キーワード:

プロセスインフォマティクス、粉体成膜、自律探索、スケールアップ