講演情報

[[PB]-2pm-109]Sb系化合物半導体のウェットエッチングによる錯体生成

○大津 博義1、松宮 康夫1、角田 浩司1 (1. 富士通株式会社)

キーワード:

化合物半導体、アンチモン錯体、キレート