電気化学会第92回大会
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セッション詳細

S19(講義棟0024)電子材料及びナノ機能素子

最先端電子デバイスプロセス技術(1)

2025年3月20日(木) 13:00 〜 14:00
S19(講義棟0024)
座長:小林 清輝(電子科学株式会社)
主催：電子材料委員会
13:00 〜 13:30

[S19_3_01(特別講演)]3D-NAND型メモリにおけるワードラインの低抵抗化技術

〇寺田 博1 (1. 東京エレクトロン株式会社)
13:30 〜 14:00

[S19_3_02(特別講演)]多層グラフェンプロセスと配線・高周波デバイスへの応用

〇上野 和良1 (1. 芝浦工業大学)
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