[A-6] VLSI設計技術

16:15 〜 16:30

[A-6-02] VLSI物理設計におけるギャップチャネル配線問題

〇下田 将之¹、高橋 篤司¹、栁平 康輔²、児玉 親亮² (1. 東京科学大学、2. キオクシア株式会社)

キーワード：

ハイブリッド接合、3次元フラッシュメモリ、ギャップチャネル

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