[C-6] 電子部品・材料

13:45 〜 14:00

[C-6-01] i-MSE法を用いた材料表面内部構造の画像可視化-酸化膜篇-

〇福間 慎治¹、岩井 善郎¹ (1. 福井大学)

キーワード：

i-MSE、薄膜、erosion、可視化

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