[C-6] 電子部品・材料

14:45 〜 15:00

[C-6-05] Moドープアモルファスカーボン薄膜の諸特性

〇青木 慶次郎¹、牧野 雄介¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

アモルファスカーボン、Moドープ

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