講演情報

[GS15-2-02]高圧ひずみ加工によるSi1-xGexの電気・熱伝導特性変化

〇高井良 真里奈1、吉村 陸人1、生駒 嘉史1、荒井 康智2、河野 正道1 (1. 九州大学、2. 宇宙航空研究開発機構)

キーワード:

高圧ひずみ加工、電気特性、熱伝導特性、シリコンゲルマニウム、準安定相