講演情報

[67]照射による不均一な微細組織形成に対するTEM/STEMイメージングの実現可能性に関する技術研究

*叶野 翔1、濱口 大1、柴山 環樹2、阿部 弘亨3、野澤 貴史1 (1. 量研、2. 北大、3. 東大)

キーワード:

照射誘起非晶質化、TEM/STEM

SrTiO3単結晶に対し、室温にて160 keV-O+を照射し、原子スケールでの微細組織変化を評価した。