[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス

11:00 〜 11:15

[100] 溶融Fe-Cr-Niフラックスを用いたAlN結晶の成長挙動に及ぼす組成の影響

*新野田 剛¹、安達 正芳¹、大塚 誠¹、福山 博之¹ (1. 東北大、多元研)

キーワード：

結晶成長

深紫外LEDの基板材料としてAlN単結晶が注目されている。本研究では、Fe系フラックスとしてFe-Cr-Ni融液を用いたAlN結晶の成長挙動に及ぼす組成の影響について調査した結果について報告する。