一般ポスター-2

[P3065] 逆グラジエントLC-CAD-MS法による半導体材料の露光分解物の定性/定量

○田中 佑馬¹、村上 平¹、鈴木 亮介¹ (1. 富士フイルム(株))

キーワード：

逆グラジエントLC-CAD、質量分析、定性/定量、半導体材料