講演情報
[19a-D902-10]多孔質/マイクロピラミッド導電構造を有する印刷型圧力センサ
〇吉田 潤哉1、堀 真由香2、兼子 武琉2、Wang Yi-Fei3、吉田 綾子3、竹田 泰典3、関根 智仁1,2,3、熊木 大介3、時任 静士1,2,3 (1.山形大工、2.山形大院有機、3.山形大ROEL)
キーワード：
圧力センサ,プリンテッドエレクトロニクス
抵抗変化型のフレキシブル圧力センサはロボティクス分野などへの応用が期待される。高感度化のため感圧層を多孔質構造やマイクロピラミッド構造にする方法が報告されているが、それらの構造を感圧層に組み込むには複雑な製作過程を要する。そこで、本研究では新しい材料システムとスクリーン印刷法を組み合わせ、マイクロピラミッド構造を有する多孔質な感圧層の作製を試みたので、その薄膜構造及びセンサ特性について報告する。