[19p-A202-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー

14:15 〜 14:30

[19p-A202-6] プラズマスパッタリングによるLiイオン電池Ge系負極膜のナノ物性制御

〇横井 玲音¹、石原 雅之¹、大前 知輝¹、中田 智久¹、丹羽 亮斗¹、花井 稜¹、益本 幸泰¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大学理工)

キーワード：

スパッタリング,リチウムイオン電池,ナノワイヤー