講演情報
[19p-P05-2]ゾルゲル法で作製したアルミナパッシベーション膜のライフタイム経時劣化特性の評価
〇安田 啓人1、齋藤 洋司2、小林 康之1、渡邊 良祐1 (1.弘前大院理工、2.成蹊大院理工)
キーワード：
Si系太陽電池,表面パッシベーション
現在のシリコン太陽電池の課題として光電変換効率向上と製造コストの削減が挙げられる。変 換効率が低い要因の一つに表面再結合損失があり、これを防ぐ手段としてアルミナパッシベーシ ョン膜をシリコン基板表面に形成することが有効である。アルミナパッシベーション膜は負の固 定電荷を持ち、基板表面のバンドを曲げることで電子を反発させ、光励起キャリアのライフタイ ムを延長できる。 我々は製造コストを抑えるため、安価な製膜手法であるゾルゲル法を用いたアルミナプリカー サ溶液をスピンコートで基板表面に塗布、焼成し形成したアルミナパッシベーション膜のライフ タイム向上を目的としている。しかし、本手法で作製したアルミナ膜は膜質が悪く、製膜後 1 週 間程度でライフタイムは低減する。この原因を探るため、異な る試料焼成条件で作製したアルミナ膜を C-V 測定、ライフタイム測定により評価比較した。