講演情報

[20a-A202-1]その場観測プラズマ原子置換法を用いたヤヌスTMD単層膜の熱的安定性評価

〇小倉 宏斗1、中條 博史1,2、青木 颯馬1、加藤 俊顕1 (1.東北大院工、2.(株) KOKUSAI ELECTRIC)

キーワード:

ヤヌスTMD