講演情報
[20a-A202-4]二テルル化タングステンの原子層エッチング法の開発
〇大伴 真名歩1、伏見 直樹1、細田 雅之1,2、山口 淳一1、Deacon Russell2、Randle Michael2、河口 研一1、石橋 幸治2、佐藤 信太郎1 (1.富士通（株）、2.理研)
キーワード：
トポロジカル絶縁体,２テルル化タングステン,原子層エッチング法
２テルル化タングステン（WTe2）は、単層 1T’相が２次元トポロジカル絶縁体としての性質を示すことから、トポロジカル量子ビットへの応用が期待されている。本研究では、単層 WTe2トポロジカルジョセフソン接合素子に向けた層数制御法の開発を目指し、Self-limiting な表面酸化と KOHによる酸化膜除去に基づくALE 法（wet ALE）の開発を行った。