これまで我々は、C₆₀と三酸化モリブデン（MoO₃）の真空共蒸着で作製した複合薄膜が大きなS値を示しつつσが向上することでC₆₀薄膜に比べ約100倍大きなPFを示す高性能熱電材料として振舞うことを示してきた。本発表では、C₆₀・(MoO₃)_x薄膜の熱的安定性を検証するとともに、熱処理によりP/N型熱電特性が制御できることを見出したので報告する。