[20a-P02-1~25] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-P02-7] Li 拡散現象を利用した VO_2-δ薄膜の金属-絶縁体転移の抵抗制御

〇金子 理久¹、谷古宇 海斗¹、樋口 透¹ (1.東理大先進工)

キーワード：

強相関電子系,酸化物半導体

本研究では、VO₂/LiCoO₂多層膜をスパッタ法により作製し、VO₂/LiCoO₂多層膜の結晶構造・相転移・抵抗率・電子構造の観点から、VO₂膜における Li 拡散の影響を検証した。