講演情報
[20p-A601-16]SiCセラミックス光学素子の熱負荷耐性評価
〇宮坂 泰弘1、近藤 康太郎1、桐山 博光1 (1.量研関西研)
キーワード：
SiCセラミックス,高熱耐性,光学素子
レーザーの高平均出力化において、光学素子の熱負荷制御は重要な課題である。我々は、熱負荷を抑制するために、熱伝導率の高いSiCセラミックスを光学素子基板に着目した。本講演では、従来のガラス基板を用いた場合に比べて熱負荷によるレーザー反射波面の劣化を半分以下に抑制できることSiC基板内部に流路を形成し、基板内部から水冷することで熱負荷によるレーザー反射波面の劣化をより一層防ぐことに成功した結果を報告する。