講演情報
[20p-A601-2]レーザー支援電気泳動堆積法におけるインプロセス局所焼結の結晶化評価
〇(M2)吉元 裕貴1、中澤 謙太1、石川 誠2、小野 篤史1,3、岩田 太1,2,3 (1.静岡大工、2.静岡大浜共セ、3.静岡大電研)
キーワード：
レーザートラップ,ナノ微粒子,電気泳動堆積法
我々は，レーザートラップと電気泳動堆積法を組み合わせることにより金属ナノ微粒子を堆積造形させる手法であるレーザー支援電気泳動堆積法を開発してきた．前回の報告では，開発中のインプロセス局所焼結法により，堆積構造物のヤング率の向上を示した．本報告では，電子顕微鏡と電子線後方散乱回折を用いて構造物断面の結晶領域を可視化することで，堆積された金ナノ微粒子が結晶粒を形成したことを計測できたので報告する．