[20p-B205-1~15] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[20p-B205-1] 誘電体ガラス基板のフェムト秒パルスレーザー加工におけるマルチタイムスケール時間分解複素透過率イメージング

〇(D)川野 将太郎¹、戸田 圭一郎¹、櫻井 治之¹、小西 邦昭¹、井手口 拓郎¹ (1.東大院理)

キーワード：

フェムト秒パルスレーザー加工,時間分解複素透過率イメージング,アブレーションダイナミクス

フェムト秒からマイクロ秒に及ぶ長大な時間領域で展開されるアブレーションダイナミクスの時間分解複素透過率イメージングは、高繰り返しフェムト秒パルス加工で課題とされる熱蓄積など重要なプロセスを直接観測できる可能性を有している。本研究では、フェムト秒加工パルス光源とナノ秒プローブパルス光源の出力タイミングを電気的に制御することで、マイクロ秒以上の時間遅延領域に渡って複素透過率像を観測したことを報告する。