講演情報
[20p-C401-4]ナノメカニカルセンサにおける感応膜の粘弾性効果と吸着動力学解析
〇南 皓輔1、周 映成1,2、柴 弘太1、吉川 元起1,2 (1.NIMS、2.筑波大院数物)
キーワード：
ナノメカニカルセンサ,粘弾性,動力学
ナノメカニカルセンサは、静的モードでは、吸着する際に生じる機械的変形によって応答シグナルを得るため、多様な感応膜材料が利用可能であり、様々な応用が期待されている。感応膜はしばしば粘弾性挙動を示すため、気体の吸着動力学に従わないことがある。本研究では、測定対象ガスとパージガスとを交互に導入する測定に適用可能な吸着動力学と三要素固体モデルに基づいた応答シグナルの理論モデルを導出した。