[20p-P03-1~11] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[20p-P03-4] スプレー型Layer-by-Layer法によるZn系半導体ナノ粒子多積層膜の作製

〇(M2)中谷 開智¹、金 大貴¹、沈 用球¹ (1.大阪公大院工)

キーワード：

半導体ナノ粒子,エリプソメトリ,Layer-by-Layer法

スプレー型LbL法では浸漬型LbL法と比べ、より効率的な多積層膜作製や面内異方性を持つ積層膜の作製が可能となる。スプレー法による半導体ナノ粒子積層膜の作製可能性を調べることを目的として、Zn系半導体ナノ粒子多積層膜の作製を行い、その膜厚や光学定数の評価を行った。測定結果から、スプレー法を用いた場合でも、積層回数による膜厚制御が可能で均質な膜質の半導体ナノ粒子積層膜が作製できることを示した。