[21a-P04-1~11] 6.5 表面物理・真空

[21a-P04-9] 相転移カルコゲナイド薄膜の表面構造解析

〇(M1)新井 イサム¹、粟津原 奨太¹、片岡 純¹、坂井 穣²、桑原 正史³、片野 諭¹ (1.東洋大理工、2.豊島製作所、3.産総研)

キーワード：

GST,カルコゲン化合物,相変移現象