講演情報
[21p-B205-3]高精度レーザー加工のための空間光変調器を用いたビームスタイビリティの向上
〇長谷川 智士1、早崎 芳夫1 (1.宇都宮大)
キーワード：
空間光変調器,ビーム成形,レーザー微細加工
レーザー加工機が設置される製造現場は，環境の温度変化や外部振動による光学配置のズレ，および空気ゆらぎによる擾乱を含む場合があるため，必ずしも静粛とは言えず，レーザーのビームポインティングや出力の安定性が課題となる．そのビームスタビリティの向上は，高精度なレーザー加工において重要となる．本研究では，ホログラフィックレーザー加工機におけるSLMを用いたビームスタビリティの向上を報告する．構築した系は，ホログラフィックレーザー加工機の基本構成を変更せずに，追加で特殊な装置を実装する手間もなく，ビームスタビリティの向上が可能となる．