[21p-P19-1~4] 3.10 フォトニック構造・現象（旧3.11）

[21p-P19-1] シリコン細線導波路と結合したガラス薄膜装荷２次元フォトニック結晶ナノ共振器の作製

〇藤田 晃成¹、N. Pholsen²、川田 琉生¹、池 尙玟²、亀井 利浩³、岡野 誠³、岩本 敏²、太田 泰友¹ (1.慶應理工、2.東大先端研、3.産総研)

キーワード：

ハイブリッド集積,フォトニック結晶,量子ドット

スケーラブルな光量子回路の実現に向けて、Si回路上へ量子ドットを集積することが検討されている。同系で高効率な量子光源の実現には、自然放出抑制効果の大きい二次元フォトニック(PhC)結晶の活用が有効である。前回、ガラス上二次元GaAs-PhCナノ共振器上部にガラス薄膜を追加で装荷し、光源の高効率化に必要な高Q値共振を報告した。今回、同共振器構造をSi光導波路上に作製し、共振器発光を導波路へ結合することに成功したので報告する。