2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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14:00 〜 14:15
[22p-B202-3]
サブMHz表面波を用いたレーザ超音波法による硬化層厚さ測定の検討
〇李 英根
1
、北澤 聡
1
(1.日立研開)
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キーワード:
レーザ超音波,硬化層,サブMHz表面波
レーザ励起表面波(超音波)を用いた周波数フィルタリング法を用いた(厚さ3 mm程度)硬化層の厚さ測定を目的として、サブMHzのレーザ励起表面波を用いた硬化層厚さ測定について検討したので、その結果を報告する。
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