2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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15:45 〜 16:00
[22p-B202-9]
水晶二層構造厚みすべり振動子の高次モードの温度特性評価
〇大橋 雄二
1
、野口 太生
2
、横田 有為
2
、村上 力輝斗
2
、黒澤 俊介
1
、鎌田 圭
1
、堀合 毅彦
1
、山路 晃広
1
、吉野 将生
1
、吉川 彰
2,1
(1.東北大NICHe、2.東北大金研)
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キーワード:
厚み滑り振動子,貼り合わせ振動子,温度特性制御
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