[22p-P05-1~4] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[22p-P05-3] Single cavity型薄膜熱電変換デバイスの構造最適化

〇岩本 耕典¹、上沼 睦典¹、大谷 将生¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端科学技術大学院大学)

キーワード：

半導体,熱電変換素子