誘電体バリア放電の大気圧非平衡Arプラズマの電子温度、電子密度、電子エネルギー分布関数の推定を発光分光計測で得られた実験値にフィッティングする手法によって行った。連続スペクトルの制動輻射解析と、線スペクトルの衝突輻射モデル解析、そして連続スペクトルの誤差が小さい範囲で探索範囲を制限した衝突輻射モデル解析を実施した。連続・線の両スペクトルを合わせることで、計測値の信頼性が上昇する結果となった。