講演情報
[23a-A301-7]原料同期間歇供給を伴うタンデム型変調誘導熱プラズマを用いたナノ粒子生成法における変調周期の影響の数値解析的検討
〇岡野 里桜1、彭 井謙1、田中 伶郎1、田中 康規1、中野 裕介1、石島 達夫1、末安 志織2、渡邉 周2、中村 圭太郎2 (1.金沢大自然、2.日清製粉グループ本社)
キーワード:
タンデム型変調誘導熱プラズマ,電磁熱流体解析,Siナノ粒子大量生成
筆者らはこれまでに,タンデム型パルス変調誘導熱プラズマ(Tandem-PMITP)および原料粉体の時間制御供給(TCFF)法によるSiナノ粒子生成に対する数値解析モデルを構築してきた.本モデルでは,Tandem-PMITPに対する電磁熱流体解析に加え,原料粉体の挙動とナノ粒子の核生成および成長を計算する.本報では,このモデルを用いてコイル電流の変調周期変更時の生成ナノ粒子の粒子数と粒径への影響を検討した.