講演情報
[23a-A311-9]直流パルスプラズマによるナノ粒子生成法について
〇森永 智1、依田 眞一1、大隅 壮太2、徳田 誠2 (1.京石ナノ研、2.熊大工)
キーワード：
ナノ粒子,直流矩形波,パルスプラズマ形成
ナノ粒子の生成は、従来交流電源を用いてパルスプラズマ生成によるナノ粒子を生成していたが、微細ナノ粒子の径は、5nm程度に留まっていた。交流を直流に変え電圧の立ち上がり及び立ち下がり速度を急速とし、断熱状態に近い加熱及び冷却を達成して高温プラズマを発生させる。これによって急速冷却を通じて均一核生成を達成する事から1nm程度の微細ナノ粒子を得ることが可能となることを述べる。