講演情報
[22a-12N-3]化学増幅系レジストを対象とした電子線リソグラフィの 確率論法-分子動力学法ハイブリットシミュレーション(2)
〇若松 大翔1、中村 大紀1、安田 雅昭1 (1.阪公大院工)
キーワード：
電子線リソグラフィ,化学増幅系レジスト,シミュレーション
ネガ型化学増幅系レジストの電子線リソグラフィを対象に、確率論手法と分子動力学法を融合したハイブリッドシミュレーションを開発している。今回、両手法を交互に用いて架橋反応と構造緩和を繰り返し、レジストの構造変化をより厳密に時間発展的に解析するように改良した。