2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)7 ビーム応用：7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[22a-12N-1~10]7.3 微細パターン・微細構造形成技術

2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:45

12N (1号館)

山本治朗(日立)、谷口淳(東理大)

9:00 〜 9:15

[22a-12N-1]回転放物面鏡を用いた立体リソグラフィ光学系の歪と光強度分布の補正

〇堀内敏行¹、岩崎順哉¹、小林宏史¹ (1.東京電機大工)

9:15 〜 9:30

[22a-12N-2]ビルトインレンズマスクを用いた三次元フォトリソグラフィによるパターン形成

田中敏章¹、安田雅昭¹、笹子勝¹、〇平井義彦¹ (1.大阪公大)

9:30 〜 9:45

[22a-12N-3]化学増幅系レジストを対象とした電子線リソグラフィの確率論法-分子動力学法ハイブリットシミュレーション(2)

〇若松大翔¹、中村大紀¹、安田雅昭¹ (1.阪公大院工)

9:45 〜 10:00

[22a-12N-4]ディープラーニング支援による化学増幅型レジストの開発

〇唐晨¹、田中敏章²、関口淳²、平井義彦²、安田雅昭² (1.大阪府大、2.大阪公大)

10:00 〜 10:15

[22a-12N-5]イオン液体が内包されたシリコーンマイクロカプセルアレイ構造の形成

〇大越昌幸¹、岩崎楓¹ (1.防衛大電気電子)

10:30 〜 10:45

[22a-12N-6]UV ナノインプリントプロセスにおけるレプリカモールドの繰り返し転写と大面積化

〇田中理沙¹、大幸武司¹、谷口淳² (1.東洋合成工業、2.東京理科大)

10:45 〜 11:00

[22a-12N-7]熱ナノインプリントにおける転写パターン成形性の検討

〇川田博昭¹、経遠里菜¹、平井義彦¹、菊田久雄¹ (1.大阪公立大工)

11:00 〜 11:15

[22a-12N-8]ナノインプリントによるAR/VRグラス用傾斜型回折格子の離型プロセスに関する考察

國藤裕成¹、安田雅昭¹、〇平井義彦¹ (1.大阪公大)

11:15 〜 11:30

[22a-12N-9]シングルナノ精度を有する光硬化成形体の蛍光強度膜厚計測法(2): 光ナノインプリント成形におけるモノマーと密着剤の重合性官能基の相同相似効果

〇稲川亮太¹、大沼晶子¹、新家寛正¹、押切友也¹、中川勝¹ (1.東北大多元研)

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[22a-12N-10]光ラジカル重合型のナノインプリントレジストへの架橋剤添加によるトリミングで発生する皺状構造の周期制御

〇高野修綺¹、新家寛正¹、中川勝¹ (1.東北大多元研)

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