講演情報
[22a-12N-6]UV ナノインプリントプロセスにおけるレプリカモールドの繰り返し転写と大面積化
〇田中 理沙1、大幸 武司1、谷口 淳2 (1.東洋合成工業、2.東京理科大)
キーワード：
UVナノインプリント,レプリカモールド,大面積モールド
UVナノインプリントにおいてマスターモールドから直接インプリントするよりもレプリカモールドを繰り返し使用することでマスターモールドの長寿命化が期待できる。また小さいマスターモールドから大面積のレプリカモールドを作製できれば、マスターモールド作製コストも抑制できる。
本検討ではUVナノインプリントで成型する樹脂製のレプリカモールドを用いた繰り返し転写試験と、大面積化プロセスのコンセプト検証を行った。
本検討ではUVナノインプリントで成型する樹脂製のレプリカモールドを用いた繰り返し転写試験と、大面積化プロセスのコンセプト検証を行った。