講演情報
[22a-12N-7]熱ナノインプリントにおける転写パターン成形性の検討
〇川田 博昭1、経遠 里菜1、平井 義彦1、菊田 久雄1 (1.大阪公立大工)
キーワード：
熱ナノインプリント,パターン転写
インプリント法により樹脂表面に微細構造を形成して光学素子を作製する場合モールドパターンを忠実に転写する必要がある。本研究では熱ナノインプリントにおける樹脂の成形性について検討した。10mm角のSiウェハー内の0.3mm角の狭い領域にホールパターンを作製したモールドでは領域中央部でのパターン成形性が悪かった。パターン領域が5mm角のモールドでは全領域で成形性は良好であった。基板変形が樹脂の成形性に影響していると考えられる。