[22a-61C-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

9:00 〜 9:15

[22a-61C-1] スピンドロップレット洗浄技術における最適なリンス方法

〇根本 一正¹、谷島 孝²、三浦 典子²、佐藤 和重²、原 史朗^1,2,3 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.(株)Hundred Semiconductors)

キーワード：

ミニマルファブ

ミニマルファブでの洗浄装置では、ウェハを保持するウェハステージにリングを装着する事によりウェハ表面と裏面の表面張力が連動してウェハ上下の液体が一体化保持され、両面洗浄が可能になる。但し、ウェハ洗浄薬液を超純水に置換するリンス方法が難しくなり薬液の種類別でリンス効果に違いがでる。今回、薬液別のリンス置換性能を置換効率の観点から体系的に調べた。