[22a-61C-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術 | 2024年第71回応用物理学会春季学術講演会

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)13 半導体：13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2024年3月22日(金) 9:00 〜 11:30

61C (6号館)

曽根正人(東工大)、米谷玲皇(東大)

9:00 〜 9:15

〇根本一正¹、谷島孝²、三浦典子²、佐藤和重²、原史朗^1,2,3 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.(株)Hundred Semiconductors)

9:15 〜 9:30

〇谷島孝¹、藤田龍哉³、根本一正²、居村史人³、原史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.ハンドレッドセミコン)

9:30 〜 9:45

〇野田周一¹、薮田勇気³、山本直子³、亀井龍一郎³、原史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.誠南工業)

9:45 〜 10:00

〇田中宏幸¹、野沢善幸²、速水利泰²、原史朗^1,3 (1.産総研、2.SPPテクノロジーズ、3.ミニマルファブ推進機構)

10:15 〜 10:30

〇三浦典子¹、田中宏幸²、居村史人³、野沢善幸⁴、速水利泰⁴、原史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.(株)Hundred Semiconductors、4.SPPテクノロジーズ)

10:30 〜 10:45

〇佐藤和重^1,2、千葉貴史^1,2、寺田昌男^1,2、濱田健吾^1,2、原史朗^1,3 (1.ミニマルファブ推進機構、2.坂口電熱、3.産総研)

10:45 〜 11:00

〇本郷仁啓¹、中道修平¹、原史朗^1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.Hundred Semiconductors)

11:00 〜 11:15

〇浜本毅司¹、浦伸吾²、森山誠二郎³、谷本洋⁴、土屋忠明²、原史朗^5,6 (1.ミニマルファブ推進機構、2.ロジック・リサーチ、3.アナジックス、4.北見工業大、5.産総研、6.(株)Hundred)

11:15 〜 11:30

大谷真奈¹、室井光子¹、〇羽深等¹ (1.横国大院理工)