講演情報
[22a-61C-2]ミニマルウエハ製造におけるウエハ洗浄後の乾燥装置Ⅱ
〇谷島 孝1、藤田 龍哉3、根本 一正2、居村 史人3、原 史朗1,2,3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.ハンドレッドセミコン)
キーワード：
ミニマル
ミニマルウエハ製造におけるウエハ最終洗浄後の接乾に、マランゴニ乾燥が適用できるか検討を行った。その結果、完全にウォーターマークのない乾燥は行えなかったが、今後乾燥速度、N2/IPA流量などの条件を最適化していくことで、欠陥の出ない乾燥が行える可能性があると考えられる結果を得た。また、今回のマランゴニ乾燥におけるIPA使用量は、前回報告したIPA直接乾燥の約1/4であった。