講演情報
[22a-61C-4]ミニマルメタルエッチングプロセスの開発と特性評価
〇田中 宏幸1、野沢 善幸2、速水 利泰2、原 史朗1,3 (1.産総研、2.SPPテクノロジーズ、3.ミニマルファブ推進機構)
キーワード：
メタル,ミニマル,エッチング
ミニマルファブにおける配線加工は、プラズマダメージ問題回避のため、混酸による典型的ウェットエッチングを行ってきた。一般的にウェットエッチングは、下地材料との選択性に優れるが、パターン忠実度に乏しいく、Al合金に含まれる不純物がエッチング残渣として表面に残留し易い基本課題がある。これらに対し、我々はプラズマメタルエッチング装置を改良しAl合金加工方法のプロセス開発を行った。その概要と性能評価を報告する。