[22a-61C-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

11:00 〜 11:15

[22a-61C-8] minimal Open PDK 構築とOPampへの適応

〇浜本 毅司¹、浦 伸吾²、森山 誠二郎³、谷本 洋⁴、土屋 忠明²、原 史朗^5,6 (1.ミニマルファブ推進機構、2.ロジック・リサーチ、3.アナジックス、4.北見工業大、5.産総研、6.(株)Hundred)

キーワード：

SOI,MOSFET,PDK

ミニマルファブは多品種少量生産をターゲットとした生産システムである。このミニマルファブでのデバイス適応実績としては、カンチレバーに代表されるMEMSデバイス、CMOSおよびそれを用いたRing Oscillatorとオペアンプなどが試作されてきた。1,000 Gateレベルの集積回路の動作検証は既に終了し、試作ファブの段階となっている。今後は、PDK(Process Design Kit)を構築し、広範なユーザー設計に基づいた回路動作に対応すべく、MOSFETの動作精度向上、プロセスロバスト性確保に注力している。11月1日に、minimal Open PDKを公開した。本発表では、その概要とこれらを用いて設計および試作を行ったOPampを報告する。