講演情報
[22p-12G-1][第45回優秀論文賞受賞記念講演] 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価
市川 景太1、Chu Manh Hung1、森山 誠1、鈴木 陽香1,2、飯野 大輝3、福水 裕之3、栗原 一彰3、〇豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.名大cLPS、3.キオクシアメモリ技研)
キーワード：
角度分布,反応性イオンエッチング,高エネルギー粒子
プラズマから基板へ入射する高エネルギー粒子の入射角度分布は反応性イオンエッチングにおけるエッチング精度を決める重要なパラメータの一つである．我々は，オリフィスを通過した粒子の拡がりをそのままマイクロチャネルプレートでイメージング計測する独自の装置を開発し，これまで明らかにされていなかった入射イオンおよび電荷交換高速中性粒子の角度分布計測に世界で初めて成功した．