[22p-12G-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

17:30 〜 17:45

[22p-12G-11] 真空紫外吸収分光法を用いたリモートプラズマ中の水素原子の表面反応計測

〇竹田 圭吾¹、増田 和史¹、平松 美根男¹ (1.名城大理工)

キーワード：

原子状ラジカル,表面損失確率,真空紫外吸収分光