講演情報
[22p-12G-2]二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測
〇川村 隼也1、金 度漢1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名大、2.キオクシア)
キーワード：
エッチング
プラズマから基板へする高エネルギー粒子の入射角度分布はエッチング精度を決める上で重要なパラメータの一つであるが、報告例は少ない。本研究では、ドリフト管内に設置された偏向電極にパルス電圧を印加することで、計測用のICCDカメラのゲート機能を組み合わせ、Time-of-Flight（TOF）法によるイオン入射角度分布のエネルギー分解計測を行ったので報告する。