講演情報
[22p-12G-3]磁化反射電界型エネルギー分析器を用いたマグネトロンスパッタリング中のイオンエネルギー分布関数測定における注意事項
〇松田 良信1、金堀 洋輔1、早川 誠一1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)
キーワード：
反射電界エネルギー分析器,磁気フィルタ,酸化亜鉛
反射電界型エネルギー分析器（RFEA）と磁気フィルタ（MF）を組み合わせた磁化RFEAを用いて、Ga添加ZnOターゲットのマグネトロンスパッタリング成膜中の基板入射荷電粒子のエネルギー分布関数（EDF）を計測した。
MFの局所磁界の向きとMF位置によるマグネトロン放電への影響を調査した結果、磁化RFEAによるイオンEDF測定では、マグネトロン磁界とMF中心磁界が垂直になるように交差磁界を設ける必要があることがわかった。
MFの局所磁界の向きとMF位置によるマグネトロン放電への影響を調査した結果、磁化RFEAによるイオンEDF測定では、マグネトロン磁界とMF中心磁界が垂直になるように交差磁界を設ける必要があることがわかった。