講演情報
[22p-12J-2]深層学習型汎用原子間ポテンシャルを用いた炭素含有シリコン酸化膜の弾性特性と原子ネットワーク構造の探索
〇榊間 大輝1、小川 京悟1、宮崎 桜子1、泉 聡志1 (1.東大工)
キーワード：
シリコン酸化膜,炭素添加,汎用原子間ポテンシャル
半導体デバイスの高集積化，微細化では，微細な構造に応力が蓄積することによる機械的信頼性が課題となる。そのため，デバイスを構成する薄膜自体の強度の向上が期待される。本研究では，炭素の添加によるシリコン酸化膜の材料強度向上に注目する。深層学習型汎用原子間ポテンシャルを用いた分子動力学計算により，組成の異なる炭素含有シリコン酸化膜について原子ネットワーク構造と機械特性の関係を大域的に明らかにする。